Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Spaeth, Christian ; Kühn, Michael ; Chudoba, Thomas ; Richter, Frank
Mechanical properties of carbon nitride thin films prepared by ion beam assisted filtered cathodic vacuum arc deposition
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0257-8972 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/S0257-8972(98)00757-9 | |
| Quelle: | In: Surface and Coatings Technology. - 112. 1999, 1-3, S. 140 - 145 |
