Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schock, Wolfram ; Fritz, Joachim ; Muchow, Jörg ; Friese, Christoph ; Liewald, Timo ; Mehner, Jan
Optimierung eines elektrostatischen Kammantriebes unter Berücksichtigung von Pull-In-Effekten
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-3-00-032052-1 | |
Quelle: | 10. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz 2010, S. 81-87 |