Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Welzel, Thomas ; Dani, Ines ; Richter, Frank
Determination of radical densities by optical emission spectroscopy during the ECR plasma deposition of Si-C-N:H films using TMS as a Precursor
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0963-0252 | |
| URL/URN: | doi:10.1088/0963-0252/11/3/318 | |
| Quelle: | In: Plasma Sources Science and Technology. - 11. 2002, 3, S. 351 - 359 |
