Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Linss, Volker ; Barzola-Quiquia, Jose ; Häussler, Peter ; Richter, Frank
Structural properties of d.c. magnetron sputtered B—C—N thin films and correlation to their mechanical properties: a new empirical formula
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Physik fester Körper | |
| Institut 2: | Professur Physik dünner Schichten | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0040-6090 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.tsf.2004.03.008 | |
| Quelle: | In: Thin Solid Films. - 467. 2004, 1-2, S. 66 - 75 |
