Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Linss, Volker ; Kupfer, Hartmut ; Peter, Siegfried ; Richter, Frank
Determination of the neutral gas temperature of nitrogen-containing low-pressure plasmas using a two-temperature model
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0257-8972 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.surfcoat.2005.08.035 | |
| Quelle: | In: Surface and Coatings Technology . - 200 . 2005 , S. 1696 - 1701 |
