Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kupfer, Hartmut ; Kleinhempel, Ronny ; Graffel, Benjamin ; Welzel, Thomas ; Dunger, Thoralf ; Richter, Frank ; Gnehr, W. - M. ; Kopte, T.
AC powered reactive magnetron deposition of Indium Tin Oxide (ITO) films from a metallic target
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0257-8972 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.surfcoat.2006.08.004 | |
| Quelle: | In: Surface and Coatings Technology. - 201. 2006, S. 3964 - 3969 | |
Bemerkung: |
Proceedings of the 33rd International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films - ICMCTF 2006, The 33rd International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films |
