Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Roy, Amit Kumar ; Goedel, Werner A.
Control of thickness and morphology of thin alumina films deposited via Pulsed Chemical Vapor Deposition (Pulsed CVD) through variation of purge times
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physikalische Chemie | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0257-8972 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.03.009 | |
| Quelle: | In: Surface & Coatings Technology. - 205. 2011, 17-18, S. 4177 - 4182 |
