Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Baumgärtel, Thomas ; Graaf, Harald ; von Borczyskowski, Christian
Influence of process and system parameters on the local oxidation of alkyl-terminated silicon
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Optische Spektroskopie und Molekülphysik | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| ISBN/ISSN: | 0420-0195 | |
| Quelle: | Verhandlungen der DPG, Spring Meeting 2011 of the Condensed Matter, 13. - 18. März 2011, Dresden, S. 300. - Bad Honnef : DFG, 2011. - Reihe VI, Band 46, 2011 |
