Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Stryhal, Zdenek ; Dubau, Martin ; Schumann, Arndt ; Schneider, Dieter ; Richter, Frank
Mechanical properties of thin sputtered a-C and CNx multilayers on polymer substrates
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Professur Physik fester Körper | |
Institut 2: | Professur Förder- und Materialflusstechnik | |
Dokumentart: | Konferenzabstract | |
URL/URN: | http://www.dpg-verhandlungen.de/2011/dresden/ds42.pdf | |
Quelle: | 2011 |