Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Volltext zugänglich unter
URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-201001091
Gugel, Denis (Dr.-Ing.)
Mehner, Jan (Prof. Dr.-Ing.) ; Gerlach, Gerald (Prof. Dr.-Ing.) ; Sattler, Robert (Dr.) (Gutachter)
Ordnungsreduktion in der Mikrosystemtechnik
Reduced Order Modeling in Microsystem Technologies
Kurzfassung in deutsch
Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Methode der modalen Superposition als Ordnungsreduktionsverfahren in der Mikrosystemtechnik. Typische Anwendungsgebiete sind Inertialsensoren und dabei im Besonderen Drehratensensoren, für die die Simulation von zeitabhängigen Phänomenen von entscheidender Bedeutung ist.Im Rahmen der Weiterentwicklung der Ordnungsreduktion nach der Methode der modalen Superposition ist es gelungen für typische lineare Kräfte eine auf analytischen Gleichungen basierende Beschreibung im reduzierten Raum zu finden. Für die Beschreibung von nichtlinearen Kräften ist im Rahmen dieser Arbeit ein Verfahren entwickelt worden, das es erlaubt, bestehende Modelle im Finite-Elemente-Raum in der modalen
Beschreibung zu nutzen.
In dieser Arbeit werden die theoretischen Grundlagen zur Berücksichtigung von Einflüssen der Aufbau- und Verbindungstechnik in ordnungsreduzierten Modellen dargestellt. Neben der Einkopplung äußerer Kräfte und der Veränderung der mechanischen Randbedingungen wird auch der Einfluss der Aufbau- und Verbindungstechnik auf die elektrostatischen Eigenschaften untersucht.
Die Parametrisierung des Verfahrens der modalen Superposition über Fit- und Interpolationsverfahren erlaubt es, parametrisierte ordnungsreduzierte Modelle für die zeitabhängige Systemsimulation zu generieren. Damit wird die Durchführung von Designoptimierung und die Berücksichtigung von Fertigungs- und Prozessschwankungen in ordnungsreduzierten Modellen auf Systemebene möglich.
| Universität: | TU Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Fakultät: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik | |
| Dokumentart: | Dissertation | |
| Betreuer: | Mehner, Jan (Prof. Dr.-Ing.) | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-89959-843-8 | |
| URL/URN: | http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2010/0109 | |
| Quelle: | Tönning : Der Andere Verlag | |
| SWD-Schlagwörter: | Drehratensensor , MEMS , Ordnungsreduktion | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Angular Rate Sensor , Microelectromechanical Systems (MEMS) , Modal Superposition , Modale Superposition , Reduced Order Modeling , System Simulation , Systemsimulation | |
| DDC-Sachgruppe: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften, Ingenieurwissenschaften | |
| Tag der mündlichen Prüfung | 23.01.2009 |
