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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Naumann, Michael ; Mehner, Jan ; Lin, David ; Miller, Todd

Dependency of sticking effects on environmental conditions at MEMS devices


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Mikrosysteme und Medizintechnik
Dokumentart: Konferenzbeitrag, nicht referiert
ISBN/ISSN: 978-3-00-032052-1
Quelle: 10. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz 2010, S. 77-80

 

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