Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Naumann, Michael ; Mehner, Jan ; Lin, David ; Miller, Todd
Dependency of sticking effects on environmental conditions at MEMS devices
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-3-00-032052-1 | |
Quelle: | 10. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz 2010, S. 77-80 |