Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Naumann, Michael ; Mehner, Jan ; Lin, David ; Miller, Todd
Design and Application of Flexible Stops for MEMS Devices
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-1-4244-8168-2 | |
URL/URN: | http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=5690685 | |
Quelle: | IEEE SENSORS 2010 Conference |