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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Naumann, Michael ; Mehner, Jan ; Lin, David ; Miller, Todd

Design and Application of Flexible Stops for MEMS Devices


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Mikrosysteme und Medizintechnik
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: 978-1-4244-8168-2
URL/URN: http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=5690685
Quelle: IEEE SENSORS 2010 Conference

 

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