| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-00-032052-1 | |
| Quelle: | 10. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik Mikromechanik & Mikroelektronik, 2010, S. 101 - 105 |
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