Tenholte, Dirk ; Müller, Axel ; Schweizer, Johannes ; Mehner, Jan
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-032052-1 | |
| Quelle: | 10. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, S. 10-13, 2010 |
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