Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Neugebauer, Reinhard R. ; Koriath, Hans-Joachim ; Richter, Markus ; Müller, Michael
Planar electrostatic grippers for precise handling of piezoceramic micro parts
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Produktionssysteme und -prozesse | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | ISBN: 978-0-9553082-8-4 | |
Quelle: | Spaan, H. ; European Society for Precision Engineering and Nanotechnology -EUSPEN-: 10th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology 2010. Proceedings. Vol.2 : May 31st - June 4th 2010, Delft, Netherlands Bedford: Euspen, S.120-123 |