Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Gröger, S. ;
Dietzsch, M.
Wilkening, G. ; Koenders, L . (Ed.)
"Atomic Flat", Silicon Surface for the Calibration of Stylus Instruments
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Fertigungsmesstechnik | |
| Dokumentart: | Weitere Publikation (u.a. Rezension, Lexikonbeitrag), nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-527-40502-2 | |
| Quelle: | Nanoscale Calibration Standards and Methods : Dimensional and Related Measurements in the Micro- and Nanometer Range. - Weinheim : WILEY-VCH, 2005, S. 259 - 268 |
