Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kleinhempel, Ronny ; Graffel, Benjamin ; Lukas, Jan ; Kupfer, Hartmut ; Dunger, Thoralf ; Welzel, Thomas ; Richter, Frank
The Influence of Cross-Magnetron Effect on the Properties of Indium Tin Oxide Thin Films Deposited by Pulsed Dual Magnetron Discharges
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 1612-8850 Druck, ISSN 1612-8869 Online | |
| Quelle: | In: Plasma Processes and Polymers. - 4. 2007, S1 , S325 - S329 |
