Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dunger, Thoralf ; Kupfer, Hartmut ; Graffel, Benjamin ; Kleinhempel, Ronny ; Lukas, Jan ; Welzel, Thomas ; Richter, Frank
Influence of Different Pulse Modes on the Plasma Properties in a Dual Magnetron Discharge used for the Deposition of Indium Tin Oxide Films from a Metallic Target
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 1612-8850 Druck, ISSN 1612-8869 Online | |
| Quelle: | In: Plasma Processes and Polymers. - 4. 2007, S1, S282 - S286 |
