Naumann, Michael ; Koury, Dan ; Lin, David ; Oi, Hideo ; Miller, T.F. ; Mehner, Jan
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 9783000291357 | |
| Quelle: | 9. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 2009, S. 103 - 107 |
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