Hackert, Matthias ; Schubert, Andreas ; Meichsner, Gunnar
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrofertigungstechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-0-9825697-2-6 | |
| URL/URN: | http://www.comsol.de/conference2009/europe/ | |
| Quelle: | Proceedings of the third European COMSOL Conference, 2009 | |
Bemerkung: |
CD |
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