Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Mehner, Jan ; Kolchuzhin, Vladimir ; Schmadlak, Ilko ; Hauck, Torsten ; Li, Gary ; Lin, David ; Miller, Todd
The influence of packaging technologies on the performance of inertial MEMS sensors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1109/SENSOR.2009.5285685 | |
| Quelle: | The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2009, June 21 - 25, 2009, Denver, USA. - S. 1885-1888 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Reduced order modeling |
