Hackert, Matthias ; Meichsner, G. ; Schubert, Andreas
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrofertigungstechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-0-9766792-3-3 | |
| Quelle: | Proceedings of the European COMSOL Conference, 04.11.-06.11.2008, Hannover, Deutschland |
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