Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Reuter, D. ; Bertz, A. ; Nowack, M. ; Gessner, T.
Thin film encapsulation technology for harms using sacrificial CF-polymer.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0924-4247 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.sna.2007.11.002 | |
| Quelle: | In: Sensors and Actuators A: Physical. - 145-146. 2008, S. 316 - 322 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | thin film encapsulation , thin film , sacrificial CF-polymer , technology for harms |
