Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Baum, M. ; Rota, A. ; Salk, N. ; Otto, T. ; Gessner,T
Micro machining technologies for non silicon materials.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3081-0 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration 2008, April 9-10 2008, Barcelona (Spain), pp. 395-398 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Mikrobearbeitung | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Micro machining , non silicon materials |
