Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Goedel, Werner A. ;
Ebert, Susann ;
Baumann, Reinhard R. ;
Engisch, Lutz ;
Jahn, Stephan ;
Buschmann, Markus
Technische Universität Chemnitz
Mikrostrukturierter Film, Verfahren für seine Herstellung und seine Verwendung
Kurzfassung
Die Neuerung bezieht sich auf einen mikrostrukturierten Film, ein Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung. Nachteilig am Stand der Technik bleibt neben aufwendigen Lösungswegen, dass nur konvexe Mikrostrukturen oder konkave Mikrostrukturen mit nicht exakt definierbaren Dimensionen erzeugt werden. Der in den Hauptansprüchen angegebenen Erfindung liegt damit das Problem zugrunde, einen mikrostrukturierten Film 9 mit konkaven Mikrostrukturen 7 mit exakt vorbestimmbarer Größe und mit vorbestimmbarer Rauigkeit und Oberflächenbeschaffenheit der Grenzfläche 8 zu schaffen, ein Verfahren zu seiner Herstellung anzugeben und seine Verwendung aufzuzeigen. Die Vorteile der erfindungsgemäßen Lösung bestehen in der exakten Abbildung der konkaven Mikrostrukturen 7, in der Möglichkeit, durchgängig offene Mikrostrukturen zu schaffen, und im Wegfall nachträglicher separater Anbringung einer Stützstruktur auf der Mikrostruktur und damit auch Wegfall der dabei immer vorhandenen Beschädigungsgefahr der Mikrostruktur. Dadurch wird die gesamte Prozessführung exakter, effektiver, also schneller und kostengünstiger, und die Größeneinschränkung besteht auch nicht mehr.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Physikalische Chemie | |
| Institut 2: | Forschung Prof. Baumann | |
| Dokumentart: | Patent (Offenlegungsschrift, Patentschrift, Gebrauchsmusterschrift) | |
| Veröffentlichungsnummer: | DE102007001953A1 ; DE102007001953B4 | |
| Veröffentlichungsdatum | 17.07.2008 | |
Bemerkung: |
Offenlegungsschrift |
