Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Al-Mogahed, Wail ; Voigt, Sebastian ; Mehner, Philipp Jan ; Paschew, Georgi ; Richter, Andreas ; Mehner, Jan
Laser Structured Silicon Based Multi Fourier Horn Resonator
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3503-4131-7 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-4132-4 ; Electronic ISSN: 2768-1874 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2836-8487 | |
| DOI: | doi:10.1109/DTIP58682.2023.10267949 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/10267949 | |
| Quelle: | 2023 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), 28-31 May 2023, Valetta, Malta. - IEEE, 2023 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Piezoelectric transducer , Ultrasonic nebulizer , Silicon laser structuring | |
Bemerkung: |
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