Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Böttger, Simon ; Dietz, Franz ; Hartmann, Martin ; Dahra, Nipun ; Kaulfersch, Eberhard ; Hermann, Sascha
Functional CMOS extension with integrated carbon nano devices
Funktionale CMOS-Erweiterung mit integrierten Kohlenstoff-Nanobauteilen
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN:978-1-6654-8849-5 ; Print on Demand(PoD) ISBN:978-1-6654-8850-1 | |
| DOI: | doi:10.1109/SSI56489.2022.9901422 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=9901422 | |
| Quelle: | 2022 Smart Systems Integration (SSI), 2022 April 27-28, Grenoble (France). - IEEE, 2022. - 22114738 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | verspannte Kohlenstoff-Nanoröhrchen , NEMS-Dehnungssensor , Heterosystem-Integration , System auf Chip (SOC) , prognostische Gesundheitsüberwachung (PHM) | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | strained carbon nanotubes , NEMS strain sensor , hetero-system integration , system on chip (SOC) , prognostic health monitoring (PHM) | |
Bemerkung: |
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