Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dill, Pauline ; Ren, Xiang ; Hintersatz, Helen ; Franz, Mathias ; Dentel, Doreen ; Tegenkamp, Christoph ; Ebert, Susann
Atomic layer deposition of titanium phosphate onto reinforcing fibers using titanium tetrachloride, water, and tris(trimethylsilyl) phosphate as precursors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Physikalische Chemie | |
| Institut 2: | Professur Analytik an Festkörperoberflächen | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0734-2101 ; 1520-8559 | |
| DOI: | doi:10.1116/6.0001514 | |
| Quelle: | In: Journal of Vacuum Science & Technology A. - American Vacuum Society. - 40. 2022, 2, 022403 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Atomic Layer Deposition , titanium phosphate |
