Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schmidt, Georg* ;
Hübler, Arved Carl ;
Qiu, Xunlin
Technische Universität Chemnitz
Piezoelektrische Vorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
Kurzfassung
Die vorliegende Erfindung beinhaltet eine piezoelektrische Vorrichtung, die eine Stapelanordnung aus zwei einander gegenüber liegenden Decklagen oder Decklagenbereichen, die jeweils aus wenigstens einem flächigen, nichtstarren Substrat aus elektrisch nicht leitendem und nicht piezoelektrischem Material ausgebildet sind; wenigstens zwei zwischen den Decklagen oder Decklagenbereichen befindlichen und übereinander liegenden piezoelektrischen Einheiten, die jeweils aus einer inneren Elektrodenlage und einer äußeren Elektrodenlage und wenigstens einer zwischen der jeweiligen inneren und äußeren Elektrodenlage liegenden piezoelektrischen Lage ausgebildet sind; und einer zwischen den piezoelektrischen Einheiten liegenden, elektrisch isolierenden Sperrlage aufweist, ein damit ausgebildetes Buch und ein Verfahren zu deren Herstellung.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Printmedientechnik | |
| Dokumentart: | Patent (Offenlegungsschrift, Patentschrift, Gebrauchsmusterschrift) | |
| Veröffentlichungsnummer: | DE102020107028A1 | |
| Veröffentlichungsdatum | 16.09.2021 | |
| Internationale Patentklassifikation | H01L 41/083 |
