Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Investigation of noise in surface topography measurement using structured illumination microscopy
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Fertigungsmesstechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0860-8229 | |
| DOI: | doi:10.24425/mms.2021.137706 | |
| Quelle: | In: Metrology and Measurement Systems. - Polish Academy of Sciences. - 28. 2021, 4, S. 767 - 779 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | surface topography measurement , measurement noise , uncertainty , structured illumination microscopy | |
| OA-Lizenz | CC BY-NC-ND 4.0 |
