Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Florian, Camilo ; Fischer, Daniel ; Freiberg, Katharina ; Duwe, Matthias ; Sahre, Mario ; Schneider, Stefan ; Hertwig, Andreas ; Krüger, Jörg ; Rettenmayr, Markus ; Beck, Uwe ; Undisz, Andreas ; Bonse, Jörn*
Single Femtosecond Laser-Pulse-Induced Superficial Amorphization and Re-Crystallization of Silicon
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Elektronenmikroskopie und Mikrostrukturanalytik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1996-1944 | |
| DOI: | doi:10.3390/ma14071651 | |
| Quelle: | In: Materials. - MDPI AG. - 14. 2021, 7, 1651 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | femtosecond laser , silicon , amorphization , crystallization , spectroscopic imaging ellipsometry , transmission electron microscopy , atomic force microscopy | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
