Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Lang, Heinrich ;
Heft, A.
Horn, Kerstin (Hrsg.)
CCVD-Precursorverbindungen für die Abscheidung funktioneller metallischer und metalloxidischer Schichten unter Atmosphärendruck
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Anorganische Chemie | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-00-063646-2 | |
| URL/URN: | http://www.ak-adp.de/publikation_ak-adp/ | |
| Quelle: | In: Horn, Kerstin (Hrsg.): Atmosphärische Plasmen Anwednungen – Entwicklungen – Anlagen. - Jena : MEOX Projektmanagment GbR, 2019, S. 48 - 58 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | CCVD-Precursorverbindung , Abscheidung , metallisch , metalloxidisch , Schichten |
