Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Volltext zugänglich unter
URN: urn:nbn:de:swb:ch1-200300354
Himcinschi, Cameliu Constantin
Zahn, Dietrich R.T. (Prof. Dr.) ; Gessner, Thomas (Prof. Dr.) ; Gösele, Ulrich M. (Prof. Dr.) (Gutachter)
Characterisation of Si-Si bonded wafers and low-k silica xerogel films by means of optical spectroscopies
Kurzfassung in deutsch
In dieser Arbeit werden als Untersuchungsverfahren für die Charakterisierung von gebondeten Siliziumwafern und Siliziumoxid-Xerogel-Schichten spektroskopische Ellipsometrie mit variablem Einfallswinkel (VASE) und Fouriertransformations-infrarotspektroskopie (FTIR) eingesetzt.Aus dem Verhalten der LO- und TO-Moden in den Infrarotspektren werden Veränderungen der Dicke und Struktur der vergrabenen Grenzfläche zweier Wafer bei einer Wärmebehandlung abgeleitet. Es werden Mechanismen für das Tieftemperaturbonden von Wafern, die auf der Entwicklung der chemischen Spezies an der vergrabenen Grenzfläche basieren, vorgeschlagen. Die chemischen Spezies wurden durch interne Vielfachtransmissionsinfrarotspektroskopie ermittelt.
Aus ellipsometrischen Messungen wurden Dicke, optische Konstanten, Porosität und Porenabmessungen von Siliziumoxid-Xerogel bestimmt. Mittels VASE und FTIR wurde der Einfluss unterschiedlicher Hydrophobisierungsprozesse auf die Eigenschaften von Xerogel-Schichten untersucht. Weiterhin wurden die elektronischen und ionischen Beiträge zur statischen Dielektrizitätskonstanten bestimmt.
| Universität: | TU Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Fakultät: | Fakultät für Naturwissenschaften | |
| Dokumentart: | Dissertation | |
| Betreuer: | Zahn, Dietrich R.T. (Prof. Dr.) | |
| URL/URN: | http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2003/0035 | |
| SWD-Schlagwörter: | Ellipsometrie , Infrarotspektroskopie , Porosität , Xerogel | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Dielektrizitätskonstante , vergrabene Grenzfläche , Siliziumoxid , Siliziumwaferbonden , interne Vielfachtransmission , longitudinale und transversale (LO und TO) optische Phononen , optische Konstanten | |
| DDC-Sachgruppe: | Physik, Ingenieurwissenschaften | |
| Tag der mündlichen Prüfung | 07.04.2003 |
