Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kriebel, David* ; Schmidt, Henry* ; Schiebold, Michael ; Freitag, Markus ; Arnold, Benjamin ; Naumann, Michael ; Mehner, Jan
Design Automation for Micro-Electro-Mechanical Systems
Entwurfsautomatisierung für mikroelektromechanische Systeme
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-5386-4482-9 ; USB ISBN: 978-1-5386-4481-2 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 978-1-5386-4483-6 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 1545-827X | |
| DOI: | doi:10.1109/SMICND.2018.8539777 | |
| Quelle: | International Semiconductor Conference (CAS), 10. - 12. October 2018, Sinaia, Romania, pp. 43 - 50 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , FEM , ROM |
