Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Delmdahl, Ralph ; Paetzel, Rainer ; Brune, Jan ; Senczuk, Rolf ; Gossler, Christian ; Moser, Ruediger ; Kunzer, Michael ; Schwarz, Ulrich T.
Line beam laser lift-off approach for sapphire removal
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Experimentelle Sensorik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-0-912035-96-3 | |
| DOI: | doi:10.2351/1.5062551 | |
| Quelle: | ICALEO, 31th International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics : September 23 - 27, 2012. - Laser Institute of America, 2012. - 852 (2012). - LIA ; 615 = 105 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Semiconductor materials , Chemical element , Light emitting diodes , Separation processes , Laser scanning , Surface analysis techniques , Semiconductor device fabrication |
