Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Subannajui, Kittitat* ; Güder, Firat ; Danhof, Julia ; Menzel, Andreas ; Yang, Yang ; Kirste, Lutz ; Wang, Chunyu ; Cimalla, Volker ; Schwarz, Ulrich T. ; Zacharias, Margit
An advanced fabrication method of highly ordered ZnO nanowire arrays on silicon substrates by atomic layer deposition
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Experimentelle Sensorik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0957-4484, 1361-6528 | |
| DOI: | doi:10.1088/0957-4484/23/23/235607 | |
| Quelle: | In: Nanotechnology. - IOP Publishing. - 23. 2012, 23, S. 235607 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Nanoimprint lithography |
