Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Moser, Rüdiger ; Kunzer, Michael ; Goßler, Christian ; Köhler, Klaus ; Pletschen, Wilfried ; Schwarz, Ulrich T. ; Wagner, Joachim H.
Laser processing of gallium nitride-based light-emitting diodes with ultraviolet picosecond laser pulses
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Experimentelle Sensorik | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | 0091-3286 | |
DOI: | doi:10.1117/1.oe.51.11.114301 | |
Quelle: | In: Optical Engineering. - SPIE-Intl Soc Optical Eng. - 51. 2012, 11, 114301-1 - 1414301-8 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | gallium nitride light-emitting diode , prototyping , ultraviolet , picosecond laser . direct writing , ablation threshold , trench , mesa |