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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Wenisch, Robert ; Lungwitz, Frank ; Hanf, Daniel ; Heller, René ; Zscharschuch, Jens ; Hübner, René ; von Borany, Johannes ; Abrasonis, Gintautas ; Gemming, Sibylle ; Escobar-Galindo, Ramon ; Krause, Matthias*

Cluster Tool for In Situ Processing and Comprehensive Characterization of Thin Films at High Temperatures


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Skalenübergreifende Modellierung von Materialien und Materialverbünden unter externen Einflussfaktoren
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: Print Edition ISSN: 0003-2700 ; Web Edition ISSN: 1520-6882
DOI: doi:10.1021/acs.analchem.8b00923
Quelle: In: Analytical Chemistry. - American Chemical Society (ACS). - 90. 2018, 13, S. 7837 - 7842
Freie Schlagwörter (Englisch): cluster tool , in-operando analytics , complex analytics , ion-beam , IBA , tribology , Raman , IR , ellipsometry , environmental conditions , RBS , ERDA

 

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