Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Wenisch, Robert ; Lungwitz, Frank ; Hanf, Daniel ; Heller, René ; Zscharschuch, Jens ; Hübner, René ; von Borany, Johannes ; Abrasonis, Gintautas ; Gemming, Sibylle ; Escobar-Galindo, Ramon ; Krause, Matthias*
Cluster Tool for In Situ Processing and Comprehensive Characterization of Thin Films at High Temperatures
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Skalenübergreifende Modellierung von Materialien und Materialverbünden unter externen Einflussfaktoren | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | Print Edition ISSN: 0003-2700 ; Web Edition ISSN: 1520-6882 | |
DOI: | doi:10.1021/acs.analchem.8b00923 | |
Quelle: | In: Analytical Chemistry. - American Chemical Society (ACS). - 90. 2018, 13, S. 7837 - 7842 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | cluster tool , in-operando analytics , complex analytics , ion-beam , IBA , tribology , Raman , IR , ellipsometry , environmental conditions , RBS , ERDA |