Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Moser, Rüdiger ; Goßler, Christian ; Kunzer, Michael ; Köhler, Klaus ; Pletschen, Wilfried ; Brunne, Jens ; Schwarz, Ulrich T. ; Wagner, Joachim
Laser direct writing of GaN-based light-emitting diodes-The suitable laser source for mesa definition
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Experimentelle Sensorik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0021-8979 (printed ed.) ; 1089-7550 (online ed.) | |
| DOI: | doi:10.1063/1.4794844 | |
| Quelle: | In: Journal of Applied Physics. - AIP Publishing. - 113. 2013, 10, 103107-1 - 103107-13 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Laser ablation , Epitaxy , Semiconductors , P-N junctions , Quantum wells , Light emitting diodes , 3D printing , Etching , Electrical properties and parameters , Photolithography |
