Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kleindienst, Roman* ; Becker, P. ; Cimalla, V. ; Grewe, A. ; Hille, P. ; Krüger, M. ; Schörmann, J. ; Schwarz, Ulrich T. ; Teubert, J. ; Eickhoff, M. ; Sinzinger, S.
Integration of an opto-chemical detector based on group III-nitride nanowire heterostructures
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Experimentelle Sensorik | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | ISSN: 1559-128X (print) ; ISSN: 2155-3165 (online) | |
DOI: | doi:10.1364/AO.54.000839 | |
Quelle: | In: Applied Optics. - OSA | The Optical Society. - 54. 2015, 4, S. 839 - 847 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Beam shaping , High numerical aperture optics , Optical design , Physical vapor deposition , Scanning electron microscopy , Transmission electron microscopy |