Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Sorger, Alexander
Mehner, Jan (Prof. Dr.); Gerlach, Gerald (Prof. Dr.); Classen, Johannes (Dr.) (Gutachter)
Topologische und technologische Maßnahmen zur Miniaturisierung mikroelektromechanischer Drehratesensoren
Topological and technological means for the miniaturization of MEMS gyroscopes
Kurzfassung in deutsch
In dieser Arbeit werden Möglichkeiten zur Verkleinerung mikroelektromechanischer Drehratesensoren untersucht. Im Mittelpunkt stehen dabei zum einen Veränderungen der Sensortopologie und zum anderen erweiterte Designmöglichkeiten durch die zusätzliche Funktionsschicht einer neuartigen Oberflächentechnologie.
Kurzfassung in englisch
This work investigates the miniaturization of MEMS vibratory gyroscopes by means of topological and technological approaches.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Fakultät: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik | |
| Dokumentart: | Dissertation | |
| Betreuer: | Mehner, Jan (Prof. Dr.-Ing. habil.) | |
| Quelle: | 2017. - 201 S. | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | MEMS , Drehratesensor , Oberflächentechnologie | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , gyroscope , surcface micromachining | |
| Tag der mündlichen Prüfung | 03.08.2017 |
