Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schaarschmidt, Ingo ; Meichsner, Gunnar ; Zinecker, Mike ; Hackert-Oschätzchen, Matthias ; Schubert, Andreas
Multiscale model of the PECM with oscillating cathode for external geometries using a virtual switch
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Mikrofertigungstechnik | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
URL/URN: | https://www.comsol.de/paper/download/440551/schaarschmidt_paper.pdf | |
Quelle: | COMSOL Conference 2017, 18.10. - 20.10.2017, Rotterdam | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | PECM , osillating cathode , ECM |