Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Classen, Johannes ; Sorger, Alexander ; Mehner, Jan
Advanced Surface Micromachining Process for Inertial Sensors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-5386-3962-7 | |
| Quelle: | 2017 DGON Inertial Sensors and Systems (ISS), Symposium Gyro Technology, Karlsruhe, 19.-20. September 2017, S. P09-1 bis P09-14 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , Accelerometer , Gyroscope , Surface Technology |
