Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kupfer, Hartmut ;
Richter, Frank
Depla, Diederik ; Mahieu, Stijn
Reactive Magnetron Sputtering of Indium Tin Oxide Thin Films: The Cross-Corner and Cross-Magnetron Effect
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-540-76662-9 Springer Berlin Heidelberg New York | |
| Quelle: | In: Depla, Diederik ; Mahieu, Stijn: Reactive Sputter Deposition. - Berlin Heidelberg : Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2008, S. 338 - 366. - Springer Series in Materials Science 109 |
