Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kühn, Ralf* ; Prieske, Markus ; Zeidler, Henning ; Schubert, Andreas ; Vollertsen, Frank
Lokale Beeinflussung der Oberflächenrauheit von Silizium dotiertemCVD-Diamant durch funkenerosive Mikrobearbeitung
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrofertigungstechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
| URL/URN: | http://elib.suub.uni-bremen.de/edocs/00105206-1.pdf | |
| Quelle: | In: Dry Metal Forming Open Access Journal. - BIAS - Bremer Institut für angewandte Strahltechnik GmbH. 2016, 2, S. 50 - 55 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | dotierter CVD-Diamant , Mikro-EDM , Oberflächenrauheit | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | doped CDV-diamond , micro-EDM , surface roughness |
