Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Haase, Katherina ;
Höft, Daniel ;
Schmidt, Georg
Technische Universität Chemnitz; Vertreter: Rumrich, Gabriele, Dipl.-Ing. Pat.-Ing.
Elektronisches Bauelement mit einem Dielektrikum und Verfahren zur Herstellung des elektronischen Bauelementes
Kurzfassung
Die Erfindung betrifft ein elektronisches Bauelement mit einem Dielektrikum und ein Verfahren zur Herstellung des elektronischen Bauelements, insbesondere eines organischen Feldeffekttransistors oderDünnschichtkondensators, wobei das Dielektrikum wenigstens eine erste Schicht in Form einer low-k-Schicht und wenigstens eine zweite Schicht in Form einer high-k-Schicht aufweist, und erfindungsgemäß zwischen der ersten Schicht und der zweiten Schicht eine dritte Schicht mit beliebiger Dielektrizitätskonstante angeordnet ist. Verfahrensgemäß werden die erste Schicht, eine dritte Schicht mit beliebiger Dielektrizitätskonstante und die zweite Schicht übereinander aufgebracht und dadurch das Dielektrikum als Verbund dreier miteinander in Kontakt gebrachter Einzelschichten hergestellt.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Printmedientechnik | |
| Dokumentart: | Patent (Offenlegungsschrift, Patentschrift, Gebrauchsmusterschrift) | |
| Veröffentlichungsnummer: | DE102014107850A1 | |
| Veröffentlichungsdatum | 17.12.2015 | |
| Internationale Patentklassifikation | H01L 51/10 |
