Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Biehl, Saskia* ; Rumposch, Christian ; Paetsch, Nancy ; Bräuer, Günter ; Weise, Dieter ; Scholz, Peter ; Landgrebe, Dirk
Multifunktionelles Dünnschicht-Sensorsystem als Überwachungssystem in der Produktion
Multifunctional thin film sensor system as monitoring system in production
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Umformtechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Print ISSN 0946-7076, Online ISSN 1432-1858 | |
| URL/URN: | http://link.springer.com/article/10.1007%2Fs00542-016-2831-5 | |
| Quelle: | In: Microsystem Technologies. - Springer Link. - 22. 2016, Nr. 7, S. 1757 - 1765 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Dünnschicht-Sensorsystem , Überwachungssystem , Produktion | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | thin film sensor system , monitoring system , production |
