Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Nagel, Cristian ; Ante, Frederik ; Putnik, Martin ; Classen, Johannes ; Mehner, Jan
Effect of Inhomogeneous Temperature Distributions on MEMS Inertial Sensors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-00-054047-9 | |
| Quelle: | 13. Chemnitzer Fachtagung Mkrosystemtechnik, Mikromechanik und Mikroelektronik, 25./26.10.2016, Chemnitz, S. 77 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , acceleration sensor |
