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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Kupfer, Hartmut ; Richter, Frank ; Kleinhempel, Ronny ; Blüthner, Ralf ; Raubold, Thomas

Cross-Magnetron-Effect und ITO-Schichtabscheidung


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Physik fester Körper
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: ISSN 1522-2454 online, 0947-076X print
URL/URN: doi:10.1002/vipr.200800340
Quelle: In: Vakuum in Forschung und Praxis. - 20. 2008, 1, S. 28 - 34

 

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