Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kupfer, Hartmut ; Richter, Frank ; Kleinhempel, Ronny ; Blüthner, Ralf ; Raubold, Thomas
Cross-Magnetron-Effect und ITO-Schichtabscheidung
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Physik fester Körper | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | ISSN 1522-2454 online, 0947-076X print | |
URL/URN: | doi:10.1002/vipr.200800340 | |
Quelle: | In: Vakuum in Forschung und Praxis. - 20. 2008, 1, S. 28 - 34 |