Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Thamm, Thomas ; Wett, Daniel ; Bohne, Wolfgang ; Strub, Erik ; Röhrich, Jörg ; Szargan, Rüdiger ; Marx, Günter ; Goedel, Werner A.
Investigations on PECVD boron carbonitride layers by meansof ERDA, XPS and nano-indentation Appeasements
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physikalische Chemie | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1007/s00604-006-0702-y | |
| Quelle: | Microchimica Acta. -Volume 156, Numbers 1-2 / November 2006. - S. 53-56 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Investigations , carbonitride layers , nano-indentation Appeasements |
